产品特性:半自动扩膜 | 加工定制:是 | 品牌:FHX |
型号:SAK | 用途:晶圆膜扩张 | 别名:扩晶机 |
规格:6寸 |
FHX-SAK晶圆扩膜机
FHX-SAK系列产品是专门用于晶圆、LED等的切割后的扩膜工序,配备进口导轨,温控系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距。
1、 FHX-SAK优势特点
扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定;适应MODTF2系列框架; FHX-SAK扩膜机
工作盘具有恒温加热功能,有助于膜的延伸性;
调整工作盘上升的高度,即可调整晶粒之间的间距;选配上置圆切自动割膜功能装有气弹簧,
7英寸触摸屏,显示参数59执行的步骤、故障报警;
采用伺服电机升降和进口气缸升降完成扩膜工序,***扩膜的一致性;
采用进口PLC做控制系统,可设定台盘上升的预热延时、扩膜延时等功能,更好的提升了扩膜质量;翻盖自动锁紧装置。
2、 FHX-SAK晶圆扩膜机功能
Wafer Expander Function
在半导体集成电路芯片制作中的切割制程后,将切割/分割后的芯片背面所贴的膜用扩张环固定,利用工作台的上升,使膜向X-Y方向均匀扩 张,从而带动芯片扩张至任意间隔,大大方便了芯片切割/分割制程后的处理。芳汇鑫
3、 FHX-SAK晶圆扩膜机原理
Wafer Tape Expander Design
在半导体集成电路芯片制作中的切割制程后,将切割/分割后的芯片背面所贴的膜用扩张环固定,利用工作台的上升,使膜向X-Y方向均匀扩 张, 从而带动芯片扩张至任意间隔,大大方便了芯片切割/分割制程后的处理。
4、
适用于半导体集成电路芯片制作中切割制程后的扩张或拉伸工艺。晶圆扩张机系列产品是专门用于晶圆、LED等的切割后的扩膜工序,配备进口导轨,温控系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距晶圆扩膜机型号目前有:6寸扩膜机、8寸扩膜机、10寸扩膜机、12寸扩膜机、半自动晶圆扩膜机、手动扩膜机、定制尺寸请联系芳汇鑫